|
|
23:07 Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники - Гаврилов, Белов |
Автор: Гаврилов Сергей Александрович, Белов Алексей Николаевич
Издательство: Высшее образование, 2009 г.
Серия: Основы наук
Аннотация к книге "Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники"
Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 "Электроника и микроэлектроника", 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100...
Читать полностью
Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 "Электроника и микроэлектроника", 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100 (550700) "Электроника и микроэлектроника (бакалавр)", а также для аспирантов, научных работников и инженеров.
Книга Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники - Гаврилов, Белов.
|
Похожие материалы:
|
|
| Календарь |
| « Январь 2018 » | | Пн | Вт | Ср | Чт | Пт | Сб | Вс | | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | | 15 | 16 | 17 | 18 | 19 | 20 | 21 | | 22 | 23 | 24 | 25 | 26 | 27 | 28 | | 29 | 30 | 31 |
|
|
